ศูนย์ข้อมูลการวิจัย Digital "วช."

การปลูกฟิล์มบางนิเกิลเหล็กไนไตรด์ โดยอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริงแบบควบคุมเวลาก๊าซไวปฏิกิริยา

ชื่อเรื่อง :

ปี :

2549

หมวด :

วิทยานิพนธ์

ผู้แต่ง :

ชีวะ ทัศนา

ผู้แต่งร่วม :

รหัสดีโอไอ :

10.14457/KMITL.the.2006.351

ชีวะ ทัศนา. 2549. การปลูกฟิล์มบางนิเกิลเหล็กไนไตรด์ โดยอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริงแบบควบคุมเวลาก๊าซไวปฏิกิริยา. สาขาวิชาฟิสิกส์ประยุกต์, สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง; DOI : https://doi.nrct.go.th/ListDoi/listDetail?Resolve_DOI=10.14457/KMITL.the.2006.351

ชีวะ ทัศนา. (2549) การปลูกฟิล์มบางนิเกิลเหล็กไนไตรด์ โดยอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริงแบบควบคุมเวลาก๊าซไวปฏิกิริยา . สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง/กรุงเทพฯ. DOI : https://doi.nrct.go.th/ListDoi/listDetail?Resolve_DOI=10.14457/KMITL.the.2006.351

ชีวะ ทัศนา. การปลูกฟิล์มบางนิเกิลเหล็กไนไตรด์ โดยอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริงแบบควบคุมเวลาก๊าซไวปฏิกิริยา. . กรุงเทพฯ:สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง, 2549. DOI : https://doi.nrct.go.th/ListDoi/listDetail?Resolve_DOI=10.14457/KMITL.the.2006.351

เอกสารดาวน์โหลด

Abstract :

Download (PDF)

จำนวนดาวน์โหลด

Abstract :

Full-Text :

Digital File :

จำนวนดาวน์โหลดเพื่อใช้ประโยชน์

นโยบาย :

วิชาการ :

สังคม/ชุมชน :

พาณิชย์/อุตสาหกรรม :

การออกแบบและสร้างแคโทด สำหรับระบบปลูกฟิล์มบาง อาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง

วราวุฒิ เถาลัดดา

การปลูกและวัดสมบัติฟิล์มบางเพียโซอิเล็กทริกอลูมิเนียมไนไตรด์ที่เตรียมด้วย วิธีรีแอกทีฟอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริงบนฐานรองรับพลาสติก PET

ทิพวรรณ คล้ายบุญมี

สำนักงานการวิจัยแห่งชาติ (วช.)	National Research Council of Thailand (NRCT)
196 ถนนพหลโยธิน เขตจตุจักร กรุงเทพฯ 10900	196 Paholyotin rd., Chatuchak, Bangkok 10900
โทร. 02-561-2445 ต่อ 711, 712 \| dric@nrct.go.th	Tel.02-561-2445 ext. 712, 714 \| dric@nrct.go.th