ศูนย์ข้อมูลการวิจัย Digital "วช."

การออกแบบและสร้างแคโทด สำหรับระบบปลูกฟิล์มบาง อาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง

ชื่อเรื่อง :

ปี :

2553

หมวด :

รายงานการวิจัย

ผู้แต่ง :

วราวุฒิ เถาลัดดา

ผู้แต่งร่วม :

รหัสดีโอไอ :

10.14457/KMITL.res.2010.23

วราวุฒิ เถาลัดดา. 2553. การออกแบบและสร้างแคโทด สำหรับระบบปลูกฟิล์มบาง อาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง. กรุงเทพฯ:คณะวิทยาศาสตร์ สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง; DOI : https://doi.nrct.go.th/ListDoi/listDetail?Resolve_DOI=10.14457/KMITL.res.2010.23

วราวุฒิ เถาลัดดา. (2553) การออกแบบและสร้างแคโทด สำหรับระบบปลูกฟิล์มบาง อาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง. คณะวิทยาศาสตร์ สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง:กรุงเทพฯ. DOI : https://doi.nrct.go.th/ListDoi/listDetail?Resolve_DOI=10.14457/KMITL.res.2010.23

วราวุฒิ เถาลัดดา. การออกแบบและสร้างแคโทด สำหรับระบบปลูกฟิล์มบาง อาร์เอฟแมกเนตรอนสปัตเตอริง. กรุงเทพฯ:คณะวิทยาศาสตร์ สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง, 2553. Print. DOI : https://doi.nrct.go.th/ListDoi/listDetail?Resolve_DOI=10.14457/KMITL.res.2010.23

เอกสารดาวน์โหลด

Abstract :

Download (PDF)

Full-Text :

Download (PDF)

จำนวนดาวน์โหลด

Abstract :

Full-Text :

Digital File :

จำนวนดาวน์โหลดเพื่อใช้ประโยชน์

นโยบาย :

วิชาการ :

สังคม/ชุมชน :

พาณิชย์/อุตสาหกรรม :

เทคนิคแอดซอร์พทีฟแคโทดิกสตริปปิงโวลแทมเมทรีเพื่อตรวจวัดโลหะหนักที่มีปริมาณน้อยมากอย่างพร้อมกัน

อลงกรณ์ อยู่สำราญ

การศึกษาคุณลักษณะพารามิเตอร์ของพลาสมาที่วัดได้จากการอาร์ก ในสุญญากาศเฉพาะจุดแคโทดด้วยวิธีการโพรบ

ธีรยุทธ คงสันทัด

การปลูกฟิล์มบางนิเกิลเหล็กไนไตรด์ โดยอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริงแบบควบคุมเวลาก๊าซไวปฏิกิริยา

ชีวะ ทัศนา

สำนักงานการวิจัยแห่งชาติ (วช.)	National Research Council of Thailand (NRCT)
196 ถนนพหลโยธิน เขตจตุจักร กรุงเทพฯ 10900	196 Paholyotin rd., Chatuchak, Bangkok 10900
โทร. 02-561-2445 ต่อ 711, 712 \| dric@nrct.go.th	Tel.02-561-2445 ext. 712, 714 \| dric@nrct.go.th